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2-30.dopant

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-30.dopant

2018-01-08

ドーピング剤とも呼ばれるドーパントは、物質の電気的特性または光学特性を変更するために物質に(非常に低濃度で)挿入される微量不純物元素である。結晶性物質の場合、ドーパントの原子は、材料の結晶格子内にある元素の代わりに非常に一般的である。これらの材料は、ソリッドステートエレクトロニクスで使用するための半導体(シリコン、ゲルマニウムなど)の結晶、様々なタイプのレーザーを作るために使用される透明な結晶である。


窒素またはホウ素のような意図的な不純物を炭化ケイ素に添加して、エンジニアリングするか、または抵抗率を変える.n型ドーパントおよびp型ドーパントを引き起こす。ドーパントが1立方cm当たりの濃度が増加するにつれて、抵抗率は減少する。

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