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2-7。一次平面配向

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-7。一次平面配向

2018-01-08

ウェーハ上で最も長い長さのχatは、弦が特定の低屈折率の結晶面と平行になるように配向される。手作業による角度測定を用いたラウンドバックリジェネレーション技術を使用してインゴットごとに1枚のウェーハ上で測定された。

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