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2-6。ウェーハ一次フラット

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-6。ウェーハ一次フラット

2018-01-08

ウェーハ上の最も長い長さのフラットであって、弦が特定の低屈折率結晶面と平行であるように配向されたものと、主要なフラット。


一次atは、\u003c11-20\u003e面に平行な面を有する{10-10}面である。方向。

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