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2-9。（エリア）ウエハ汚染

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-9。（エリア）ウエハ汚染

2018-01-08

汚れ、汚れまたは水の斑点に起因する変色、斑点または曇りの外観として、高輝度（または拡散）照明下に現れる局所的な領域の表面上の異物。

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