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2-10亀裂

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-10亀裂

2018-01-08

ウェーハの表側表面からウェーハの背面側表面まで延びるウェーハの破断または劈開である。破断線を許容可能な結晶縞から区別するために、高強度照明下では、亀裂は長さが0.010インチを超えなければならない。骨折線は、典型的には鋭利で細い伝播線を示し、これらの線は材料線条から区別される。

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