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3-1。大きな点欠陥

炭化珪素エピタキシーの定義

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3-1。大きな点欠陥

2018-01-08

補助されていない目に対して明確な形状を示し、 50ミクロンを横切る。これらの機能には、スパイク、付着粒子、チップおよびクレーターが含まれます。 3mm未満の大きな点欠陥は1つの欠陥としてカウントされる。

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