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3-2。スクラッチ

炭化珪素エピタキシーの定義

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3-2。スクラッチ

2018-01-08

5：1よりも大きい長さ対幅の比を有するウェーハの表面の下の溝または切れ目を含む。スクラッチは、離散したスクラッチの数に分数直径の全長を掛けた数で指定される。

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