本論文では、新しい3次元（3D） フォトリソグラフィー 繊維基材上の高解像度微細パターン形成技術のための技術。非平面表面のリソグラフィ技術に関する簡単な概説も提示されている。提案された技術は、主に、3D露光モジュールの微細加工と、ファイバ上の薄いレジスト膜のスプレー堆積とを含む。石英基板のウェットエッチングと投影露光法によって3d露光モジュールがうまく準備される。 3D露光モジュールの主な利点は、長寿命、低コスト、狭い印刷ギャップ、したがって高解像度である。高解像度の微細パターン形成プロセスに必要な均一で薄いレジスト膜を繊維上に調製するための新規なスプレーコーティングシステムが開発されている。直径125μmの光ファイバのスプレーデポジションプロセスが系統的に調査されています。繊維上のスプレーコーティング堆積プロセスは主に衝突領域からなるので、レジスト溶液の粘度および揮発性は複雑な効果を有す...
TeドープGaSb単結晶は、ホール効果、赤外線（IR）透過およびフォトルミネッセンス（PL）スペクトルを測定することによって研究されている。 Teのドーピング濃度と電気的補償の臨界制御により、IR透過率のn型GaSbを60％もの高さで得ることができることが分かった。天然のアクセプタ関連欠陥の濃度は、明らかに、Teドープされた GaSb ドーピングされていない、多量のTeドープされたGaSbのものと比較して、高IR透過率のメカニズムは、欠陥を伴う光吸収プロセスを考慮することによって分析される。 出典：IOPscience 窒化ケイ素結晶構造のような当社の製品についての詳細は、 フロートゾーンウェーハ 、 炭化ケイ素ウエハー 当社のウェブサイトをご覧ください：www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってくださいangel.ye@powerwaywafer...
本論文では、完全結合三次元電気熱デバイスシミュレータを用いて、高電流動作時の平面劣化 G a N系発光ダイオード （LED）。特に、より厚い導電性GaN基板を用いた効率低下の改善が実証されている。第1に、薄い導電性GaN基板内の局所ジュール加熱は、内部量子効率（IQE）を低下させ、直列抵抗を増加させることが分かった。 次に、より厚い導電性GaN基板および基板内の電流密度および温度のシミュレートされた分布を導入した。その内部の最大電流密度は、 GaN基板 100μmの厚さの基板では、5μmの厚さの基板に比べて約6倍減少する。したがって、最大接合部温度が低下し、IQEおよび駆動電圧が向上します。本研究では、厚いGaN基板が高電流動作で平面LEDの特性を改善するのに有効であることを証明している。 出典：IOPscience もっと詳しく GaN系LEDエピタキシャルウエハ 、 中国ガリウム窒化物...
上へのGaSb膜成長の直交実験 GaAs基板 低圧有機金属化学気相成長（LP-MOCVD）システムを使用して設計され、実行されています。製造されたフィルムの結晶度および微細構造は、最適な成長パラメータを達成するために比較的分析された。 最適化されたＧａＳｂ薄膜は、（００４）ωロッキングカーブの半値全幅（３５８秒角）、および約６ｎｍの低い二乗平均平方根粗さを有する滑らかな表面を有することが実証された。これはヘテロエピタキシャル単結晶膜の場合に典型的である。また、GaSb薄膜の層厚が転位密度に及ぼす影響をラマンスペクトルにより調べた。我々の研究は製造のための貴重な情報を提供できると信じられています。 高結晶性GaSb膜 そして、主流の性能を有する電子装置上に製造された中赤外線装置の集積確率を促進することができる。 ソース：iopscience のような私達の良質プロダクトについてのより多くの情...
直接接合の上に成長させた1.5aμmGaInAsPレーザダイオード（LD）の接合温度依存レーザ発振特性 InP基板 または Si基板 正常に取得されました。私達は作りました InP 基板 ３５０、４００、および４５０℃の接合温度で直接親水性ウェハ接合技術を使用し、または堆積されたＧａＩｎＡｓＰまたは InP二重ヘテロ構造層 このＩｎＰ ／ Ｓｉ基板上に。成長後の表面状態、Ｘ線回折（ＸＲＤ）分析、フォトルミネッセンス（ＰＬ）スペクトル、および電気的特性をこれらの結合温度で比較した。これらの接合温度におけるＸ線回折分析およびＰＬスペクトルに有意差は確認されなかった。 350℃と400℃で接合したInP / Si基板上にGaInAsP LDの室温レーザ発振を実現した。しきい値電流密度は、３５０℃で４．６５ｋＡ ／ ｃｍ ２、４００℃で４．３８ｋＡ ／ ｃｍ ２であった。電気抵抗はアニーリング温度...
低温成長 GaAs (LT-GaAs)を用いた光伝導アンテナ (PCA) の効率を改善しました。LT-GaAs光伝導層の物性が、テラヘルツ（THz）波の発生・検出特性に大きく影響することがわかりました。THz 発生では、高い光励起キャリア移動度とLT-GaAs内の少数の As クラスターの存在が2 つの重要な要素です。検出では、キャリア寿命が短く、 LT-GaAsに多結晶構造が存在しない重要な要因です。これらの物理的特性を最適化することにより、THz の生成と検出の合計ダイナミック レンジを、従来の市販の PCA よりも 15 dB 改善しました。さらに、半絶縁性 GaAs (SI-GaAs) 基板を、THz 領域での吸収が少ない Si 基板に置き換えました。我々は、Si基板上に絶縁性の高いAl0.5Ga0.5Asバッファ層を含むという新しいアイデアを提案しました。最後に、Si基板を使用し...
Si 上のエピタキシャル SiC 膜の成長における最近の進歩を概説します。SiC 膜の成長に現在使用されている基本的な古典的な方法について説明し、その長所と短所を調べます。エピタキシャルSiC膜の新合成法の基本的な考え方と理論的背景Si上で与えられます。新しい方法は、基板表面への原子の蒸発を利用する従来の薄膜成長技術とは大きく異なることが示されます。新しい方法は、炭化ケイ素の分子を形成する炭素原子によるシリコン マトリックスのいくつかの原子の置換に基づいています。次の SiC 核生成プロセスは、シリコン マトリックスの結晶構造を破壊することなく徐々に発生し、成長した膜の配向は、シリコン マトリックスの元の結晶構造によって決定されることが示されます。フィルム成長の従来の方法）。新しい方法と他のエピタキシー技術との比較が示されます。 原子の置換と膨張双極子の作成に基づく固相エピタキシーの新しい...
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