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サーチ

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  • 選択的に注入され、パターン化されたシリコンカーバイド表面を、注入後アニール中にグラファイトキャッピング層で保護する

    2018-Jan-19

    グラファイトキャッピング層が評価されて、注入後アニール中にパターン化され選択的に注入された4hエピタキシャルウェハの表面を保護する。 a-z-5214eフォトレジストを750〜850℃の範囲の温度で真空中でスピン焼成し、高さ2μmまでのフィーチャを有する平面およびメサエッチングされた表面の両方に連続コーティングを形成した。水素化ポリマー様フィルムのナノ結晶性グラファイト層への完全な変換をラマン分光法によって確認した。グラファイトキャッピング層は損傷しておらず、その後のアルゴン雰囲気中での1650℃までの30分間のアニーリングの間に、平面およびメサエッチングされた表面の両方を保護した。注入領域のステップバンチングとドーパントアウトディフュージョンを効果的に抑制し、同時に4hエピタキシャルウェハの未注入表面に汚染がないことを確実にした。注入されていないアニールされた表面上に形成されたショットキ...

  • ガソリン(ガリウムアンチモン)ウエハ

    2018-Jan-19

    pam-xiamenは、高品質のガリウムアンチモン(ガス)単結晶インゴットを成長させます。 我々はまた、ラウンド、切断、ラップと研磨ガスウェーハを見てepiレディ表面品質を供給することができます。 ガスバブ結晶は、6n純粋なgaおよびsb元素によって形成された化合物であり、epd< 0の液体封入チョクラルスキー(lec) 1000cm -3。ガスベブ結晶は、mbeまたはmocvdエピタキシャル成長に適した、電気的パラメータの高い均一性および低い欠陥密度を有する。 厳密またはオフの配向、低または高ドープ濃度および良好な表面仕上げで幅広い選択肢を有する「エピ準備完了」ガス製品があります。製品の詳細についてはお問い合わせください。 1)2 \"、3\"ガスボンベ 配向:(100)±0.5° 厚さ(μm):500±25; 600±25 タイプ/ドーパント:p / undoped; p / s...

  • エピタキシャル強誘電体ナノディスクとナノ構造のウェハスケールアレイ

    2018-Apr-24

    レーザ干渉リソグラフィを用いて、srtio3単結晶基板上のsrruo3下部電極の全領域(10mm×10mm)上に、秩序だったpb(zr0.2x0.8)o3ナノディスクおよびナノ構造のウェハスケールアレイを作製した(lil)プロセスとパルスレーザ堆積を組み合わせたものである。ナノ構造の形状およびサイズは、パターン化された穴を通して堆積されたpztの量および結晶化後工程の温度によって制御された。 X線回折および透過型電子顕微鏡法により、(001)配向単結晶基板を覆うsrruo3(001)下部電極層上に(001)配向pztナノ構造がエピタキシャル成長することが確認された。 pztナノ島のドメイン構造は、シンクロトロンX線放射を用いた相互空間マッピングによって特徴付けられた。各圧電ナノ構造の強誘電特性は、圧電応答モードでの走査型力顕微鏡によって特徴付けられた。 ソース:iopscience 詳細に...

  • 窒化ガリウム中の自然空孔のハイブリッド密度機能図

    2018-May-24

    我々はハイブリッド密度汎関数法(dft)を用いて窒化ガリウム中の空孔欠陥の遷移エネルギーレベルを調べた。我々は、純粋に局所的なdftのレベルに関する最近の研究からの予測とは対照的に、スクリーニングされた交換の包含は、価電子帯に近いフェルミエネルギーの窒素空孔の三重正電荷状態を安定させることを示す。一方、窒素空孔の負の電荷状態に関連する欠陥準位は、伝導帯とハイブリッドを形成し、高いnドーピングを除いて、エネルギー的に好ましくないことが判明する。ガリウム空孔の場合には、sx-ldaにおける交換相互作用が強いためにアップスピンとダウンスピンのバンド間の磁気分裂が増加すると、欠陥準位がより深くバンドギャップに押し込まれ、関連する電荷遷移レベルが著しく増加する。これらの結果に基づいて、ガンの黄色発光の代替候補としてイプシロン(0 | - 1)遷移レベルを提案する。 ソース:iopscience 詳細...

  • 高出力ダイオードレーザスタックのビーム特性

    2018-Jun-19

    ダイレクト・ダイオード・レーザは、 レーザ。 それらは非常に効率的で、コンパクトで、波長が多用途で、低コストであり、信頼性が高い。しかしながら、直接ダイオードレーザの完全な利用は未だ実現されていない。質の悪さ ダイオードレーザ 直接的にその応用範囲に影響を与える、ダイオードレーザスタックのより良い使用のためには、ダイオードレーザビーム特性の正確な理解を必要とする光学系の適切な補正が必要である。 より少ない電力で細かいビードを作るのに適した長方形のビームパターンのために、実用的なアプリケーションを確立することを可能にする。そのため、使用済み機械のリサイクルとコスト削減に貢献しなければならない破損した機械部品に対して、ダイオードレーザクラッディングが新しい修理分野を開拓します。 ソース:iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください: www.semiconductor...

  • Si上の成長とそのワイドギャップ半導体膜への応用

    2018-Jul-12

    最近のエピタキシャル膜の成長が概観されている。現在映画映画の成長に使用されている基本的な古典的方法が議論され、その長所と短所が探究されている。 Si上にエピタキシャル膜を合成する新しい方法の基本的な考え方と理論的背景が示されている。この新しい方法は、原子の基板表面への蒸発が利用される従来の薄膜成長技術とは大きく異なることが示されるであろう。 この新しい方法は、シリコンマトリックス中のいくつかの原子を炭素原子で置換して分子を形成することに基づいている 炭化ケイ素 。シリコンマトリックスの結晶構造を破壊することなく徐々に核生成の次のプロセスが起こり、成長した膜の配向はシリコンマトリックスの元の結晶構造によって課されることが示される(フィルム成長の従来の方法)。新しい方法と他のエピタキシー技術との比較を行う。 原子の置換に基づく固相エピタキシーの新しい方法および拡張双極子の作成は、ヘテロエピタキ...

  • 半絶縁ガリウム砒素ベースのデバイスにおける室温での光誘起磁気抵抗

    2018-Jul-30

    室温で低磁場下で大きな磁気抵抗効果(mr)を得ることは、半導体ベースのデバイスにとって依然として大きな課題である。この論文では、室温での異なる照射強度下での光誘起mr効果を、 半絶縁ガリウム砒素 ( si-gaas )ベースのag / si-gaas / agデバイス。装置は、約395nm-405nmの範囲の波長を有する発光ダイオード(led)ランプビーズによって供給される光の照射を受け、各LEDランプビードの作動力は約33mwである。 光誘起mrは磁場(b)1tまで飽和せず、低磁場(b = 0.001t)のmr感度s(s = mr / b)は15t-1に達することができる。光誘起電子と正孔の再結合は陽性の光誘起mr効果をもたらすことが見出されている。このことは、真性キャリア濃度が非常に低い非磁性半導体デバイスにおいて、低磁場下で光誘起された高い光誘起が得られることを意味する。 ソース:i...

  • 3インチinpウェハの結晶品質の向上

    2018-Jul-30

    3インチのFeドープの転位密度を減少させるプロセス inpウェーハ 説明する。結晶成長プロセスは、従来の液体封入チョクラルスキー(lec)であるが、成長する結晶の熱勾配を減少させるために熱シールドが追加されている。これらのシールドの形状は、熱伝達および熱機械的応力の数値シミュレーションの助けを借りて最適化されています。 このプロセスは、計算と実験との間の連続フィードバックを用いて段階的に実施されている。熱応力の50%低減が得られている。エッティングピット密度(epd)およびX線回折(xrd)マッピングによって転位密度に及ぼすこれらの改良の影響が調査されている:転位密度は、特に結晶の上部で著しく減少している(70,000から40,000cm- 2)ので、マイクロエレクトロニクスアプリケーションの仕様に適合します。 sドープ3インチウェハについても同様の改善が得られている。 ソース:iopsc...

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