ウェット・ウェーハ・ボンディング法により350℃のアニーリング温度で形成されたinas / siヘテロ接合を透過型電子顕微鏡（tem）で調べた。 inasおよびsiは、明視野の画像において、2μmの長さの視野内に空隙なしで均一に結合することが観察された。高解像度の画像では、inas2つの結晶を原子的に結合させる役割を担う10-12nmの厚さの非晶質様構造を有する遷移層が存在していた。遷移層は、高角度の環状暗視野走査像において異なる輝度の2つの層に分離された。 in、as、asの分布は、シ、およびヘテロ界面近傍のo原子をエネルギー分散型X線分光法で調べた。遷移層を含む厚さ20nmの中間層内でin、as、およびsi原子の量が徐々に変化した。蓄積されたo原子が遷移層で検出された。
ソース：iopscience
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