レーザ干渉リソグラフィを用いて、srtio3単結晶基板上のsrruo3下部電極の全領域（10mm×10mm）上に、秩序だったpb（zr0.2x0.8）o3ナノディスクおよびナノ構造のウェハスケールアレイを作製した（lil）プロセスとパルスレーザ堆積を組み合わせたものである。ナノ構造の形状およびサイズは、パターン化された穴を通して堆積されたpztの量および結晶化後工程の温度によって制御された。 X線回折および透過型電子顕微鏡法により、（001）配向単結晶基板を覆うsrruo3（001）下部電極層上に（001）配向pztナノ構造がエピタキシャル成長することが確認された。 pztナノ島のドメイン構造は、シンクロトロンX線放射を用いた相互空間マッピングによって特徴付けられた。各圧電ナノ構造の強誘電特性は、圧電応答モードでの走査型力顕微鏡によって特徴付けられた。 ソース：iopscience 詳細に...
我々は統合のための新しいプロセスを提示する ゲルマニウム シリコン・オン・インシュレータ（SOI）ウェーハを使用しています。ゲルマニウムは、次に酸化されて、2つの酸化物層（成長した酸化物および埋め込まれた酸化物）の間にゲルマニウムをトラップする、大豆中に埋め込まれる。注入および酸化条件を注意深く制御して、このプロセスにより、ほぼ純粋なゲルマニウムの薄い層（現在の実験では最大20〜30nmを示す）を生成する。この層は、赤外線波長に敏感な集積フォトディテクタの製造に潜在的に使用することができ、またはさらに、 ゲー um マニ 成長。結果は、電子顕微鏡法およびラザフォード後方散乱分析、ならびにプロセスの分析的記述を用いた予備的モデリングから提示される。 ソース：iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください： www.semiconductorwafers.net 、 私...
3インチのFeドープの転位密度を減少させるプロセス inpウェーハ 説明する。結晶成長プロセスは、従来の液体封入チョクラルスキー（lec）であるが、成長する結晶の熱勾配を減少させるために熱シールドが追加されている。これらのシールドの形状は、熱伝達および熱機械的応力の数値シミュレーションの助けを借りて最適化されています。 このプロセスは、計算と実験との間の連続フィードバックを用いて段階的に実施されている。熱応力の50％低減が得られている。エッティングピット密度（epd）およびX線回折（xrd）マッピングによって転位密度に及ぼすこれらの改良の影響が調査されている：転位密度は、特に結晶の上部で著しく減少している（70,000から40,000cm- 2）ので、マイクロエレクトロニクスアプリケーションの仕様に適合します。 sドープ3インチウェハについても同様の改善が得られている。 ソース：iopsc...
酸素析出物の密度と光散乱強度が czシリコン 結晶は赤外光散乱トモグラフィーによって測定される。測定により明らかになった数値データを酸素析出量との関連で考察する。ここで得られた結果は、酸素析出物が光を散乱させるという理論的分析とよく一致している。赤外光散乱トモグラフィーによって得られた情報は、czシリコン結晶中の酸素の析出過程を非常によく説明し、この方法によって得られた析出物の密度は信頼できるものである。 ソース：iopscience 窒化ケイ素結晶構造、窒化ケイ素結晶構造、 炭化ケイ素ウエハー 私たちのウェブサイトをご覧ください： 、 私達に電子メールを送ってください または...
イオンビーム照射は、ナノスケールの半導体ピラーおよびコーン構造を作製する方法として検討されてきたが、ナノ構造の配置が不正確であるという欠点を有する。私たちはナノスケールの作成とテンプレート作成の方法について報告しています InAs InP基板上のホモエピタキシャルInAs膜とヘテロエピタキシャルInAsの両方の集束イオンビーム（FIB）照射によるスパイク。これらの「ナノスピン」は、FIB照射のために形成されたIn液滴が下にあるInAsのためのエッチマスクとして作用するように生成される。液滴の移動において、ホモエピタキシャルInAs上のナノスパイク位置を限定された精度で制御することができる。 InAs / InPヘテロ構造を使用してナノスピーカーを作成することにより、ナノスパイクがInPの露出領域上に形成されないため、スパイクが形成される場所をさらに制御する尺度が提供される。この効果は、In...
我々は、ウエハに埋め込まれた温度センサの熱応答時間を決定するための非接触法を提示する。この方法では、フラッシュランプがウェハ上のスポットを周期的なパルスで照射する。スポットは、テスト中のセンサーと反対側にあります。次いで、センサの熱時定数は、その時間的応答の測定から、熱の理論的モデルと共にセンサ内へおよびウエハ内での横方向の両方で得られる。白金抵抗温度計（PRT）とその中に埋め込まれた熱電対の両方に関する実験データ シリコン ウェーハ 熱伝達モデルとの良好な一致を示す。 広範囲の実験パラメータに対する熱応答時間の値は、8％（PRT）と20％（熱電対）の標準偏差内で一致しており、我々の結果の自己矛盾がないことを示しています。この方法は、計装化シリコンウェハに使用されるセンサの熱的性質を決定するために直接適用可能である。我々は、この方法が新しいセンサ取り付け方法の開発、製造中のセンサの適切な取...
n型およびp型シリコンウェーハの空間分解ドーパント濃度[2.2] N dおよび電気抵抗率ρの非接触非破壊イメージング法さまざまなレーザー照射強度でのロックインキャリアグラフィー画像の使用が提示されています。既知の抵抗率を持つウェーハ サイトからの振幅および位相情報を使用して、絶対キャリア生成率を正確に決定するための較正係数を導き出しました。光キャリア放射信号の非線形性に基づく周波数領域モデルを使用して、ドーパント密度画像を抽出しました。この方法によって得られた n 型および p 型ウェーハの抵抗率の横方向の変化は、従来の 4 点プローブ測定で得られたものとよく一致することがわかりました。この完全に光学的な非接触法は、ドーピング密度と電気抵抗率の測定、および大きな半導体領域にわたるそれらの画像のための非破壊ツールとして使用できます。Nd、 出典:IOPサイエンス 詳細については、当社のウェブ...
Si 上のエピタキシャル SiC 膜の成長における最近の進歩を概説します。SiC 膜の成長に現在使用されている基本的な古典的な方法について説明し、その長所と短所を調べます。エピタキシャルSiC膜の新合成法の基本的な考え方と理論的背景Si上で与えられます。新しい方法は、基板表面への原子の蒸発を利用する従来の薄膜成長技術とは大きく異なることが示されます。新しい方法は、炭化ケイ素の分子を形成する炭素原子によるシリコン マトリックスのいくつかの原子の置換に基づいています。次の SiC 核生成プロセスは、シリコン マトリックスの結晶構造を破壊することなく徐々に発生し、成長した膜の配向は、シリコン マトリックスの元の結晶構造によって決定されることが示されます。フィルム成長の従来の方法）。新しい方法と他のエピタキシー技術との比較が示されます。 原子の置換と膨張双極子の作成に基づく固相エピタキシーの新しい...
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