直接接合の上に成長させた1.5aμmGaInAsPレーザダイオード（LD）の接合温度依存レーザ発振特性 InP基板 または Si基板 正常に取得されました。私達は作りました InP 基板 ３５０、４００、および４５０℃の接合温度で直接親水性ウェハ接合技術を使用し、または堆積されたＧａＩｎＡｓＰまたは InP二重ヘテロ構造層 このＩｎＰ ／ Ｓｉ基板上に。成長後の表面状態、Ｘ線回折（ＸＲＤ）分析、フォトルミネッセンス（ＰＬ）スペクトル、および電気的特性をこれらの結合温度で比較した。これらの接合温度におけるＸ線回折分析およびＰＬスペクトルに有意差は確認されなかった。 350℃と400℃で接合したInP / Si基板上にGaInAsP LDの室温レーザ発振を実現した。しきい値電流密度は、３５０℃で４．６５ｋＡ ／ ｃｍ ２、４００℃で４．３８ｋＡ ／ ｃｍ ２であった。電気抵抗はアニーリング温度...
低温成長 GaAs (LT-GaAs)を用いた光伝導アンテナ (PCA) の効率を改善しました。LT-GaAs光伝導層の物性が、テラヘルツ（THz）波の発生・検出特性に大きく影響することがわかりました。THz 発生では、高い光励起キャリア移動度とLT-GaAs内の少数の As クラスターの存在が2 つの重要な要素です。検出では、キャリア寿命が短く、 LT-GaAsに多結晶構造が存在しない重要な要因です。これらの物理的特性を最適化することにより、THz の生成と検出の合計ダイナミック レンジを、従来の市販の PCA よりも 15 dB 改善しました。さらに、半絶縁性 GaAs (SI-GaAs) 基板を、THz 領域での吸収が少ない Si 基板に置き換えました。我々は、Si基板上に絶縁性の高いAl0.5Ga0.5Asバッファ層を含むという新しいアイデアを提案しました。最後に、Si基板を使用し...
n型およびp型シリコンウェーハの空間分解ドーパント濃度[2.2] N dおよび電気抵抗率ρの非接触非破壊イメージング法さまざまなレーザー照射強度でのロックインキャリアグラフィー画像の使用が提示されています。既知の抵抗率を持つウェーハ サイトからの振幅および位相情報を使用して、絶対キャリア生成率を正確に決定するための較正係数を導き出しました。光キャリア放射信号の非線形性に基づく周波数領域モデルを使用して、ドーパント密度画像を抽出しました。この方法によって得られた n 型および p 型ウェーハの抵抗率の横方向の変化は、従来の 4 点プローブ測定で得られたものとよく一致することがわかりました。この完全に光学的な非接触法は、ドーピング密度と電気抵抗率の測定、および大きな半導体領域にわたるそれらの画像のための非破壊ツールとして使用できます。Nd、 出典:IOPサイエンス 詳細については、当社のウェブ...
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