グラファイトキャッピング層が評価されて、注入後アニール中にパターン化され選択的に注入された4hエピタキシャルウェハの表面を保護する。 a-z-5214eフォトレジストを750〜850℃の範囲の温度で真空中でスピン焼成し、高さ2μmまでのフィーチャを有する平面およびメサエッチングされた表面の両方に連続コーティングを形成した。水素化ポリマー様フィルムのナノ結晶性グラファイト層への完全な変換をラマン分光法によって確認した。グラファイトキャッピング層は損傷しておらず、その後のアルゴン雰囲気中での1650℃までの30分間のアニーリングの間に、平面およびメサエッチングされた表面の両方を保護した。注入領域のステップバンチングとドーパントアウトディフュージョンを効果的に抑制し、同時に4hエピタキシャルウェハの未注入表面に汚染がないことを確実にした。注入されていないアニールされた表面上に形成されたショットキ...
最近の10年間で、青色、紫色および紫外光エレクトロニクスにおけるそれらの適用のために、iii-n化合物が大きな関心を集めている。デバイスおよび研究のほとんどは、窒化物のエピタキシーのための基板としてサファイアを使用する。しかしながら、これらのエピ構造は、16％の格子不整合によって誘導される非常に高い転位密度を含む ガン サファイア。私たちの研究室では、10 kbarの高い静水圧でガンの単結晶を成長させます。これらの結晶は極めて低い転位密度を有し、青紫色レーザダイオードの構築に成功している。この作品は、高分解能X線回折測定法とフォトルミネッセンスの実験データを提示しています。この作品は3つの部分から構成されています：（1）ガン基板とガン/サファイアテンプレートの比較。 （ii）の影響 アルガン サンプルのボーイング時の層; （iii）インガン/ガン多重量子井戸の微細構造 。 soource：...
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