2020-03-17
2020-03-09
ここでは、gan-on-siliconプラットフォーム上に櫛型ドライブガンマイクロミラーを製作するための両面プロセスを報告します。最初にシリコン基板を裏面からパターニングし、深い反応性イオンエッチングによって除去し、完全に中断されたガンスラブをもたらす。トーションバー、可動櫛およびミラープレートを含むガンミクロ構造は、裏側アラインメント技術によって自立ガンスラブ上に定義され、cl2ガスによる高速原子ビームエッチングによって生成される。製造された櫛形駆動微小ミラーはgan薄膜の残留応力によって偏向されるが、追加の分離層を導入することなく高抵抗シリコン基板上で動作することができる。旋光実験では旋光角度が実験的に特徴付けられている。この研究は、シリコンオンシリコンプラットフォーム上にガン光学マイクロエレクトロメカニカルシステム（mem）デバイスを製造する可能性を開く。
ソース：iopscience
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