2020-03-17
2020-03-09
半導体の国際的な技術ロードマップ（itrs）は、製造プロセスのフィードバックループにおける設計と技術の改善に不可欠な要素として、生産テストデータを特定しています。大量生産試験データから得られた観察の1つは、系統的な故障のために失敗するダイは、ウェーハレベルで欠陥クラスターとして現れる特定の独特なパターンを形成する傾向があることである。そのようなクラスタを特定して分類することは、歩留まりの改善およびリアルタイムの統計的プロセス制御の実施に向けた重要なステップである。半導体産業のニーズに応えるために、この研究では、（製品のタイプに応じて）最大95％の精度を達成する半導体ウェハの自動欠陥クラスター認識システムを提案している。
キーワード
半導体ウェハ製造;欠陥クラスター分類;認識;特徴抽出
ソース：sciencedirect
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