2020-03-17
2020-03-09
ガラスウエハー
当社は、世界有数のガラスウエハーサプライヤーの1つであり、 細い&超薄型ガラスウエハー 異なる材料からなる基板、例えば ボロフロート 、 溶融シリカ&石英 、 bk7 、 ソーダライム の mems 、 光ファイバー 、 液晶パネル そして 楕円形基板 応用。これらのウェーハはすべて寸法、フラット、ノッチの仕様を含む準標準です。また、アライメントマーク、穴、ポケット、エッジプロファイル、厚さ、平坦度、表面品質、清浄度など、独自のニーズに合わせて設計されたカスタム仕様も提供します。半導体、医学、通信、レーザー、赤外線、エレクトロニクス、計測機器、軍事、航空宇宙などのアプリケーションに最適です。
パラメータ
測定
直径
2 \"、 4 \"、6\"、8 \"、10\"
三次元 耐性
±0.02μm
厚さ
0.12mm、0.13mm、 0.2mm、0.25mm、0.45mm
厚さ 耐性
±10μm
厚さ 変動(ttv)
< 0.01mm
平坦度
1/10 波/インチ
表面 粗さ(rms)
\u003c1.5nm
傷や掘り出し物
5/2
粒子サイズ
\u003c5μm
弓/ワープ
\u003c10μm
のために カスタマイズされた寸法、お問い合わせください
ガラスウエハプロセス
ウェーハ切断 :ブランクウェーハは、厚いシートが噴射されて準備され、ブロックはワイヤーソーイングされる
グラウンドエッジ :ウェハのエッジは、エッジ研削ステーション上で円筒状に接地されている。
ウェーハラッピング :ウェハは指定された厚さにラップされる。
ウェーハ研磨 :ウェーハを研磨することにより、製造に必要なミラー化された超平坦な表面が得られる。
ウェーハ洗浄 :複数の洗浄ライン上のウェハ表面または基板を変更または損傷することなく、化学的不純物および粒子不純物の除去である。
ウェーハ検査 :クラス100のクリーンルーム内の適切な照明条件下で様々な品質レベルを検査する。
ウェーハパッケージング :すべてのウェーハが単一ウェーハコンテナに梱包されます。