2020-03-17
2020-03-09
III-V窒化物膜堆積のための基板
	 
	 
						 結晶 
					 
						 構造 
					 
						 m.p. 
					 
						 密度 
					 
						 ganとの格子不一致 
					 
						 熱膨張 
					 
						 成長技術。 &最大サイズ 
					 
						 標準基板サイズ(mm) 
					 
						 o c 
					 
						 g / cm 3 
					 
						 (10 -6 / k) 
					 
						 ic 
					 
						 (例として6h) 
					 
						 六角 
					 
						 〜2700 
					 
						 3.21 
					 
						 3.5%atori。 
					 
						 10.3 
					 
						 cvd 
					 
						 Ø2 \"×0.3、Ø3\"×0.3 
					 
						 a =3.073Å 
					 
						   
					 
						   
					 
						 20x20x0.3,15x15x0.3 
					 
						 c =15.117Å 
					 
						   
					 
						 Ø3 \" 
					 
						 10x10x0.3,5x5x0.3 
					 
						   
					 
						 subl。 
					 
						   
					 
						 1面エポリッシュ 
					 
						 アル 2 o 3 
					 
						 六角 
					 
						 2030年 
					 
						 3.97 
					 
						 14%atori。 
					 
						 7.5 
					 
						 cz 
					 
						 Ø50×0.33 
					 
						 a =4.758Å 
					 
						   
					 
						 Ø25×0.50 
					 
						 c =12.99Å 
					 
						 Ø2 \" 
					 
						 10x10x0.5 
					 
						   
					 
						   
					 
						 1または2面研磨 
					 
						 ラリアー 2 
					 
						 正方晶系 
					 
						 1900年〜 
					 
						 2.62 
					 
						 1.4%atori。 
					 
						 / 
					 
						 cz 
					 
						 10x10x0.5 
					 
						 a =5.17Å 
					 
						 Ø20mm 
					 
						 1または2面研磨 
					 
						 c =6.26Å 
					 
						   
					 
						   
					 
						 リガオ 2 
					 
						 オーソラ 
					 
						 1600 
					 
						 4.18 
					 
						 0.2%atori。 
					 
						 / 
					 
						 cz 
					 
						 10x10x0.5 
					 
						 a =5.406Å 
					 
						 Ø20mm 
					 
						 1または2面研磨 
					 
						 b =5.012Å 
					 
						   
					 
						   
					 
						 c =6.379Å 
					 
						   
					 
						   
					 
						 mgo 
					 
						 キュービック 
					 
						 2852 
					 
						 3.58 
					 
						 3%atori。 
					 
						 12.8 
					 
						 フラックス 
					 
						 2 \"x2\" x 0.5 mm、Ø2 \"x 0.5 mm 
					 
						 a =4.216Å 
					 
						   
					 
						 1 \"x1\" x 0.5 mm、Ø1 \"x 0.5 mm 
					 
						   
					 
						 Ø2 \" 
					 
						 10×10×0.5mm 
					 
						  
					 
						  
					 
						 1または2面研磨 
					 
						 mgal 2 o 4 
					 
						 キュービック 
					 
						 2130 
					 
						 3.6 
					 
						 9%atori。 
					 
						 7.45 
					 
						 cz 
					 
						 Ø2 \"×0.5 
					 
						 a =8.083Å 
					 
						 Ø2 \" 
					 
						 10x10x0.5 
					 
						   
					 
						   
					 
						 1または2面研磨 
					 
						 ゼノ 
					 
						 ヘキサグ。 
					 
						 1975 
					 
						 5.605 
					 
						 2.2%atori。 
					 
						 2.9 
					 
						 水熱 
					 
						 20x20x0.5 
					 
						 a =3.325Å 
					 
						 20mm 
					 
						 1または2面研磨 
					 
						 c =5.213Å 
					 
						   
					 
						   
					 
						 ガン 
					 
						 六角 
					 
						   
					 
						 6.15 
					 
						   
					 
						 5.59 
					 
						   
					 
						 10x10x0.475mm 
					 
						   
					 
						   
					 
						 5x5x0.475mm