2020-03-17
2020-03-09
我々は、均一な特性を有する導波路型フォトダイオードを 2インチInPウェハ 新規プロセスの導入。ザ 2インチウェハ ウェーハの反りを補償するために、ウェーハの裏面にSiNx堆積を利用することにより、製造手順がうまく実行された。ほとんどの測定導波路型フォトダイオードは、2インチウエハ全体で暗電流（平均419pA、逆バイアス電圧10Vでσ= 49pA）が低く、0.987A / W（σ= 0.011A / W）という高い応答性が得られました1.3μmの入力波長で連続した60チャネルのアレイで測定した。また、周波数応答の均一性も確認された。
ソース：iopscience
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