2020-03-17
2020-03-09
我々は、ゲルマニウム（Ge）表面にキンヒドロン/メタノール（Q / M）処理を適用し、この処理は、少数キャリア寿命測定のためにGe表面を不動態化するためにも有効であることを示した。 20cm / s未満の表面再結合速度（S）が得られ、少数キャリアのバルク寿命τbを正確に評価することが可能になる。 Geウェハ 。私たちの知る限りでは、これは、Geの表面に成功裏に適用された湿式化学処理に関する最初の報告であり、S値が低いことを達成している。
ソース：iopscience
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