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2-3。平らな長さ

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-3。平らな長さ

2018-01-08

インゴットごとに1枚のウェーハのサンプル上に、認定されたデジタルキャリパーで測定された±1の線形寸法。

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