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2-4。ウェーハの表面配向

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-4。ウェーハの表面配向

2018-01-08

格子構造内の結晶面に対するウェーハの表面の向きを示す。

意図的に切断されたウェーハでは、切断方向は二次側から離れた一次側に平行である。


ウェーハの中心にある1つのインゴットにつき1つのウェーハのサンプル上のX線ゴニオメータで測定される。

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