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2-5ミスオリエンテーション

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-5ミスオリエンテーション

2018-01-08

意図的に「オフ・オリエンテーション」にカットされたウェーハでは、法線ベクトルのウェーハへの投影

{0001}面に投影し、最も近い\u003c11-20\u003e面の投影面上に投影する。方向。

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