2020-03-17
2020-03-09
彗星の尾には、離散的な頭と後尾の尾があります。これらの特徴はメジャーに平行に整列される。通常、すべての彗星の尾は同じ長さになる傾向があります。発生ごとに1回カウントします。 200ミクロン以内の2つの彗星の尾部は1つと数える。
見た目は彗星の尾に似ていますが、角度がより大きく、離散的な頭部が欠けています。これらの特徴が存在する場合、これらの特徴はメジャーに平行に整列される。通常、存在するすべてのニンジンは同じ長さの傾向があります。発生ごとに1回カウントします。 200ミクロンの2人のニンジンは1つと数える。
粒子は目の外観を有しており、存在する場合には、通常、ウェハの縁部に集中し、特定された領域内には存在しない。存在する場合は、1回の出現につき1回カウントする.200ミクロン内の2つの粒子は1としてカウントされる。
シリコン小滴は、ウエハ表面に小さな盛り上がりまたは窪みとして現れることがある。通常は存在しないが、もし存在するならば、ウェーハの周囲に大きく集中する。影響を受ける特定の領域の％を推定する。
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