2020-03-17
2020-03-09
補助されていない目に対して明確な形状を示し、 50ミクロンを横切る。これらの機能には、スパイク、付着粒子、チップおよびクレーターが含まれます。 3mm未満の大きな点欠陥は1つの欠陥としてカウントされる。
ウェーハ裏面への均一な色を検査することによって検証される。いくつかのより高いドープされたウェハの中心近くにはより暗い領域があることに留意されたい。裏面の清浄度は、面積の清浄度として指定されています。
epi層の成長中にstep-downが中断された領域。典型的な領域は一般に三角形であるが、より丸い形状が時々見られる。発生ごとに1回カウントします。 200ミクロン内の2つの含有物は1つとみなされる。
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