グラファイトキャッピング層が評価されて、注入後アニール中にパターン化され選択的に注入された4hエピタキシャルウェハの表面を保護する。 a-z-5214eフォトレジストを750〜850℃の範囲の温度で真空中でスピン焼成し、高さ2μmまでのフィーチャを有する平面およびメサエッチングされた表面の両方に連続コーティングを形成した。水素化ポリマー様フィルムのナノ結晶性グラファイト層への完全な変換をラマン分光法によって確認した。グラファイトキャッピング層は損傷しておらず、その後のアルゴン雰囲気中での1650℃までの30分間のアニーリングの間に、平面およびメサエッチングされた表面の両方を保護した。注入領域のステップバンチングとドーパントアウトディフュージョンを効果的に抑制し、同時に4hエピタキシャルウェハの未注入表面に汚染がないことを確実にした。注入されていないアニールされた表面上に形成されたショットキ...
本論文では、非熱的方法による非極性（すなわち、m面およびa面）および半極性（すなわち、（20.1）面）ウェハの開発について概説する。成長方法および研磨結果について説明する。我々は、26mm×26mmの非極性および半極性のウエハを製造することに成功した。これらのウェーハは、104cm-3程度の貫通転位密度を有する顕著な構造的および光学的特性を有する。ホモエピタキシャル層およびアルガンヘテロ構造の詳細な研究も示され、オプトエレクトロニクスデバイスの製造における研究されたアモノサーマル基板の可能性を示している。 ソース：iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください： http://www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってください angel.ye@powerwaywafer.com または powerwaymaterial@g...
レーザ干渉リソグラフィを用いて、srtio3単結晶基板上のsrruo3下部電極の全領域（10mm×10mm）上に、秩序だったpb（zr0.2x0.8）o3ナノディスクおよびナノ構造のウェハスケールアレイを作製した（lil）プロセスとパルスレーザ堆積を組み合わせたものである。ナノ構造の形状およびサイズは、パターン化された穴を通して堆積されたpztの量および結晶化後工程の温度によって制御された。 X線回折および透過型電子顕微鏡法により、（001）配向単結晶基板を覆うsrruo3（001）下部電極層上に（001）配向pztナノ構造がエピタキシャル成長することが確認された。 pztナノ島のドメイン構造は、シンクロトロンX線放射を用いた相互空間マッピングによって特徴付けられた。各圧電ナノ構造の強誘電特性は、圧電応答モードでの走査型力顕微鏡によって特徴付けられた。 ソース：iopscience 詳細に...
我々はハイブリッド密度汎関数法（dft）を用いて窒化ガリウム中の空孔欠陥の遷移エネルギーレベルを調べた。我々は、純粋に局所的なdftのレベルに関する最近の研究からの予測とは対照的に、スクリーニングされた交換の包含は、価電子帯に近いフェルミエネルギーの窒素空孔の三重正電荷状態を安定させることを示す。一方、窒素空孔の負の電荷状態に関連する欠陥準位は、伝導帯とハイブリッドを形成し、高いnドーピングを除いて、エネルギー的に好ましくないことが判明する。ガリウム空孔の場合には、sx-ldaにおける交換相互作用が強いためにアップスピンとダウンスピンのバンド間の磁気分裂が増加すると、欠陥準位がより深くバンドギャップに押し込まれ、関連する電荷遷移レベルが著しく増加する。これらの結果に基づいて、ガンの黄色発光の代替候補としてイプシロン（0 | - 1）遷移レベルを提案する。 ソース：iopscience 詳細...
マイクロマシニングされたアルガン/ 高電子移動度トランジスタ（ 半分 ） ダイヤモンドライクカーボン/チタン（dlc / ti）の放熱層を有するSi基板上の酸素濃度を調べた。優れた熱伝導率および熱膨張係数を有する ガン dlc / tiを有効にして、Si基板ビアホールを通してガンパワーヘムの熱を効率的に放散します。 dlc設計のこのヘムも曲げ条件（歪み：0.01％）で安定した電流密度を維持した。赤外線サーモグラフィーイメージングでは、標準マルチフィンガーパワーヘム層の熱抵抗は13.6k / wであり、裏面dlc / ti複合層によるマイクロマシン加工プロセスのために5.3k / wに改善された。したがって、提案されたdlc / ti熱放散層は、電力消費量の削減に有効な熱管理を実現した。 （ ソース：iopscience ） 詳細については、次のような関連製品をご覧ください。 ガン・ヘムエピ...
ウェット・ウェーハ・ボンディング法により350℃のアニーリング温度で形成されたinas / siヘテロ接合を透過型電子顕微鏡（tem）で調べた。 inasおよびsiは、明視野の画像において、2μmの長さの視野内に空隙なしで均一に結合することが観察された。高解像度の画像では、inas2つの結晶を原子的に結合させる役割を担う10-12nmの厚さの非晶質様構造を有する遷移層が存在していた。遷移層は、高角度の環状暗視野走査像において異なる輝度の2つの層に分離された。 in、as、asの分布は、シ、およびヘテロ界面近傍のo原子をエネルギー分散型X線分光法で調べた。遷移層を含む厚さ20nmの中間層内でin、as、およびsi原子の量が徐々に変化した。蓄積されたo原子が遷移層で検出された。 ソース：iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください：www.semiconductorw...
我々は、欠陥のない閃亜鉛鉱インブナノワイヤのau支援化学ビームエピタキシ成長を報告する。成長した インブ セグメントは、inas（111）b基板上のInAs / Inbヘテロ構造の上部セクションである。我々は、時間分解分析を用いて、閃亜鉛鉱insbが、積層欠陥または双晶面のような結晶欠陥なしに成長できることを示す。 歪みマップ解析は、界面から数ナノメータ以内でinsbセグメントがほぼ緩和されていることを示している。成長後の研究により、触媒粒子組成がauin2であり、tdmasbフラックス下で試料を冷却することによって、auin合金に変化させることができることを見出した。 ソース：iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください：www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってくださいangel.ye@powerwaywafer.co...
最近のエピタキシャル膜の成長が概観されている。現在映画映画の成長に使用されている基本的な古典的方法が議論され、その長所と短所が探究されている。 Si上にエピタキシャル膜を合成する新しい方法の基本的な考え方と理論的背景が示されている。この新しい方法は、原子の基板表面への蒸発が利用される従来の薄膜成長技術とは大きく異なることが示されるであろう。 この新しい方法は、シリコンマトリックス中のいくつかの原子を炭素原子で置換して分子を形成することに基づいている 炭化ケイ素 。シリコンマトリックスの結晶構造を破壊することなく徐々に核生成の次のプロセスが起こり、成長した膜の配向はシリコンマトリックスの元の結晶構造によって課されることが示される（フィルム成長の従来の方法）。新しい方法と他のエピタキシー技術との比較を行う。 原子の置換に基づく固相エピタキシーの新しい方法および拡張双極子の作成は、ヘテロエピタキ...
連絡先
+86-592-5601 404