2020-03-17
2020-03-09
半導体は、導電体と絶縁体との間に導電性を有する。半導体は、温度上昇に伴って電気抵抗率が低下する特性が金属とは異なる。半導体は、一方向に電流を流しやすく、光に対して感度を有する特性も示すことができる。半導体の導電特性は、不純物の制御添加または電界または光の印加によって変更することができるので、半導体は、信号増幅、スイッチングおよびエネルギー変換の増幅に非常に有用なデバイスである。半導体の包括的な理論は、原子の格子を通して電子の動きを説明する量子物理の原理に依存しています。 電荷キャリアとして集合的に知られている自由電子および正孔を介して半導体中の電流伝導が起こる。少量の不純物原子を添加すると、その中の電荷キャリアの数が大幅に増加する。ドープされた半導体が過剰なホールを含む場合、それは「p型」と呼ばれ、過剰な自由電子を含むとき、それは「n型」として知られている。デバイスに使用される半導体材料は、高度に制御された条件下でドープされ、p-およびn-型ドーパントの位置および濃度を正確に制御する。単一の半導体結晶は、複数のp型およびn型領域を有することができる。これらの領域の間のp-n接合は、多くの有用な電子特性を有する。 大部分の電流キャリアとして正孔を有する炭化ケイ素材料である。ホールは正電荷(p)を有する。不純物ボロンによるドーピングはp型材料を生成する。
化学的機械的研磨/平坦化は、化学的および機械的力の組合せによって表面を平滑化するプロセスであるcmpほど短い。化学的エッチングと自由研磨研磨のハイブリッドと考えることができる。
試験グレード:プライムよりも品質の低い炭化ケイ素ウエハーで、主にプロセスのテストに使用されます。 semiは、炭化ケイ素ウェハを「テストウェハ」として分類するのに必要なバルク、表面、および物理的特性を示す。