2020-03-17
2020-03-09
ウェーハの表側表面からウェーハの背面側表面まで延びるウェーハの破断または劈開である。破断線を許容可能な結晶縞から区別するために、高強度照明下では、亀裂は長さが0.010インチを超えなければならない。骨折線は、典型的には鋭利で細い伝播線を示し、これらの線は材料線条から区別される。
半径方向の深さまたは幅のいずれかにおいて1.0mmを超える任意のエッジ異常（ウェーハソー出口マークを含む）。拡散照明の下で見ると、エッジチップは、ウェーハのエッジから意図せずに欠落した材料として決定される。
ウェーハの外環はウェーハハンドリング領域として指定され、表面のスクラッチ、ピット、曇り、汚染、クレーター、ディンプル、溝、マウンド、オレンジピールおよびソーマークなどの表面基準から除外されます。この環は、76.2mmの基板で2mm、100.0mmの基板で3mmである。
「マウンド」とも呼ばれる。 1つの欠陥が他の欠陥の検出を妨げると、検出されなかった欠陥はマスクされた欠陥と呼ばれる。 拡散照明で見た場合のウェハの前面の上に明確な隆起領域が形成される。
連絡先
+86-592-5601 404